රසායනික-යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම (CMP) බොහෝ විට රසායනික ප්‍රතික්‍රියා මගින් සුමට මතුපිට නිපදවීම සමඟ සම්බන්ධ වේ, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ වැඩ කරයි.ලෝන්මීටරයපේළිගත සාන්ද්‍රණය මැනීමේ වසර 20 කට වැඩි විශේෂඥතාවක් ඇති විශ්වාසදායක නවෝත්පාදකයෙකු වන, අති නවීන තාක්ෂණය පිරිනමයි.න්‍යෂ්ටික නොවන ඝනත්ව මාපකසහ පොහොර කළමනාකරණයේ අභියෝගවලට මුහුණ දීම සඳහා දුස්ස්රාවීතා සංවේදක.
ස්ලරි ගුණාත්මකභාවයේ වැදගත්කම සහ ලෝන්මීටරයේ ප්‍රවීණතාවය
රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ පොහොර CMP ක්‍රියාවලියේ කොඳු නාරටිය වන අතර එය මතුපිටවල ඒකාකාරිත්වය සහ ගුණාත්මකභාවය තීරණය කරයි. නොගැලපෙන පොහොර ඝනත්වය හෝ දුස්ස්රාවිතතාවය ක්ෂුද්‍ර සීරීම්, අසමාන ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම හෝ පෑඩ් අවහිර වීම, වේෆර් ගුණාත්මකභාවය අවදානමට ලක් කිරීම සහ නිෂ්පාදන පිරිවැය වැඩි කිරීම වැනි දෝෂ වලට හේතු විය හැක. කාර්මික මිනුම් විසඳුම්වල ගෝලීය ප්‍රමුඛයෙකු වන ලෝන්මීටර්, ප්‍රශස්ත පොහොර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා පේළිගත පොහොර මැනීම සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. විශ්වාසදායක, ඉහළ නිරවද්‍යතා සංවේදක ලබා දීමේ ඔප්පු කළ වාර්තාවක් සමඟින්, ක්‍රියාවලි පාලනය සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ප්‍රමුඛ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සමඟ හවුල් වී ඇත. ඔවුන්ගේ න්‍යෂ්ටික නොවන පොහොර ඝනත්ව මීටර සහ දුස්ස්රාවීතා සංවේදක තත්‍ය කාලීන දත්ත සපයන අතර, පොහොර අනුකූලතාව පවත්වා ගැනීමට සහ නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීමට නිරවද්‍ය ගැලපීම් සක්‍රීය කරයි.
ඉහළම අර්ධ සන්නායක සමාගම් විසින් විශ්වාස කරන ලද, පේළිගත සාන්ද්‍රණය මැනීමේ දශක දෙකකට වැඩි පළපුරුද්ද. ලෝන්මීටරයේ සංවේදක නිර්මාණය කර ඇත්තේ බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ කිරීම සහ ශුන්‍ය නඩත්තුව සඳහා වන අතර එමඟින් මෙහෙයුම් පිරිවැය අඩු වේ. නිශ්චිත ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා සකස් කරන ලද විසඳුම්, ඉහළ වේෆර් අස්වැන්නක් සහ අනුකූලතාවයක් සහතික කරයි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ කාර්යභාරය
රසායනික-යාන්ත්‍රික තලකරණය ලෙසද හඳුන්වන රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම (CMP), අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මූලික ගලක් වන අතර, උසස් චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා පැතලි, දෝෂ රහිත මතුපිට නිර්මාණය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙයි. රසායනික කැටයම් කිරීම යාන්ත්‍රික උල්ෙල්ඛ සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, CMP ක්‍රියාවලිය 10nm ට අඩු නෝඩ් වල බහු ස්ථර ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා අවශ්‍ය නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි. ජලය, රසායනික ප්‍රතික්‍රියාකාරක සහ උල්ෙල්ඛ අංශු වලින් සමන්විත රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ පොහොර, ඔප දැමීමේ පෑඩ් සහ වේෆර් සමඟ අන්තර් ක්‍රියා කර ද්‍රව්‍ය ඒකාකාරව ඉවත් කරයි. අර්ධ සන්නායක සැලසුම් පරිණාමය වන විට, CMP ක්‍රියාවලිය වැඩිවන සංකීර්ණතාවයකට මුහුණ දෙන අතර, දෝෂ වැළැක්වීමට සහ අර්ධ සන්නායක ෆවුන්ඩරි සහ ද්‍රව්‍ය සැපයුම්කරුවන් විසින් ඉල්ලා සිටින සුමට, ඔප දැමූ වේෆර් ලබා ගැනීමට පොහොර ගුණාංග කෙරෙහි දැඩි පාලනයක් අවශ්‍ය වේ.
අවම දෝෂ සහිත 5nm සහ 3nm චිප්ස් නිෂ්පාදනය සඳහා මෙම ක්‍රියාවලිය අත්‍යවශ්‍ය වන අතර එමඟින් පසුකාලීන ස්ථර නිවැරදිව තැන්පත් කිරීම සඳහා පැතලි මතුපිට සහතික කෙරේ. සුළු පොහොර නොගැලපීම් පවා මිල අධික නැවත සකස් කිරීමට හෝ අස්වැන්න අහිමි වීමට හේතු විය හැක.
පොහොර ගුණාංග නිරීක්ෂණය කිරීමේ අභියෝග
රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ ක්‍රියාවලියේදී ස්ථාවර පොහොර ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතාවය පවත්වා ගැනීම අභියෝගවලින් පිරී ඇත. ප්‍රවාහනය, ජලය හෝ හයිඩ්‍රජන් පෙරොක්සයිඩ් සමඟ තනුක කිරීම, ප්‍රමාණවත් ලෙස මිශ්‍ර නොකිරීම හෝ රසායනික හායනය වැනි සාධක හේතුවෙන් පොහොර ගුණාංග වෙනස් විය හැකිය. නිදසුනක් ලෙස, පොහොර ටෝට් වල අංශු තැන්පත් වීම පතුලේ ඉහළ ඝනත්වයක් ඇති කළ හැකි අතර එය ඒකාකාර නොවන ඔප දැමීමට හේතු වේ. pH, ඔක්සිකරණ-අඩු කිරීමේ විභවය (ORP) හෝ සන්නායකතාවය වැනි සාම්ප්‍රදායික අධීක්ෂණ ක්‍රම බොහෝ විට ප්‍රමාණවත් නොවේ, මන්ද ඒවා පොහොර සංයුතියේ සියුම් වෙනස්කම් හඳුනා ගැනීමට අපොහොසත් වේ. මෙම සීමාවන් දෝෂ, ඉවත් කිරීමේ අනුපාත අඩු කිරීම සහ පරිභෝජන පිරිවැය වැඩි කිරීමට හේතු විය හැක, අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදකයින් සහ CMP සේවා සපයන්නන් සඳහා සැලකිය යුතු අවදානම් ඇති කරයි. හැසිරවීමේදී සහ බෙදා හැරීමේදී සංයුති වෙනස්කම් කාර්ය සාධනයට බලපායි. උප-10nm නෝඩ් පොහොර සංශුද්ධතාවය සහ මිශ්‍ර නිරවද්‍යතාවය පිළිබඳ දැඩි පාලනයක් අවශ්‍ය වේ. pH සහ ORP අවම විචලනයක් පෙන්නුම් කරන අතර සන්නායකතාවය පොහොර වයසට යාමත් සමඟ වෙනස් වේ. කර්මාන්ත අධ්‍යයනයන්ට අනුව, නොගැලපෙන පොහොර ගුණාංග දෝෂ අනුපාත 20% දක්වා වැඩි කළ හැකිය.
තත්‍ය කාලීන නිරීක්ෂණ සඳහා Lonnmeter හි Inline Sensors
ලොන්මීටරය එහි දියුණු න්‍යෂ්ටික නොවන පොහොර ඝනත්ව මීටර සමඟ මෙම අභියෝගවලට මුහුණ දෙයි සහදුස්ස්රාවීතා සංවේදක, පේළිගත දුස්ස්රාවීතා මිනුම් සඳහා දුස්ස්රාවීතා මීටරය සහ එකවර පොහොර ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතාවය නිරීක්ෂණය සඳහා අතිධ්වනික ඝනත්ව මීටරය ඇතුළුව. මෙම සංවේදක CMP ක්‍රියාවලීන්ට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, කර්මාන්ත-සම්මත සම්බන්ධතා ඇතුළත් වේ. Lonnmeter හි විසඳුම් එහි ශක්තිමත් ඉදිකිරීම් සඳහා දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වයක් සහ අඩු නඩත්තුවක් ලබා දෙයි. තත්‍ය කාලීන දත්ත මඟින් ක්‍රියාකරුවන්ට පොහොර මිශ්‍රණ සියුම් ලෙස සකස් කිරීමට, දෝෂ වැළැක්වීමට සහ ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනය ප්‍රශස්ත කිරීමට හැකියාව ලබා දෙන අතර, මෙම මෙවලම් විශ්ලේෂණ සහ පරීක්ෂණ උපකරණ සැපයුම්කරුවන් සහ CMP පරිභෝජන සැපයුම්කරුවන් සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.
CMP ප්‍රශස්තිකරණය සඳහා අඛණ්ඩ අධීක්ෂණයේ ප්‍රතිලාභ
Lonnmeter හි අභ්‍යන්තර සංවේදක සමඟ අඛණ්ඩව අධීක්ෂණය කිරීම ක්‍රියාකාරී අවබෝධයක් සහ සැලකිය යුතු පිරිවැය ඉතිරියක් ලබා දීමෙන් රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ ක්‍රියාවලිය පරිවර්තනය කරයි. තත්‍ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය මැනීම සහ දුස්ස්රාවීතා අධීක්ෂණය කර්මාන්ත මිණුම් සලකුණු වලට අනුව සීරීම් හෝ අධික ලෙස ඔප දැමීම වැනි දෝෂ 20% දක්වා අඩු කරයි. PLC පද්ධතිය සමඟ ඒකාබද්ධ වීම ස්වයංක්‍රීය මාත්‍රාව සහ ක්‍රියාවලි පාලනය සක්‍රීය කරයි, පොහොර ගුණාංග ප්‍රශස්ත පරාසයන් තුළ පවතින බව සහතික කරයි. මෙය පරිභෝජන පිරිවැය 15-25% කින් අඩු කිරීමට, අක්‍රීය කාලය අවම කිරීමට සහ වේෆර් ඒකාකාරිත්වය වැඩිදියුණු කිරීමට හේතු වේ. අර්ධ සන්නායක ෆවුන්ඩරි සහ CMP සේවා සපයන්නන් සඳහා, මෙම ප්‍රතිලාභ වැඩිදියුණු කළ ඵලදායිතාව, ඉහළ ලාභ ආන්තිකයන් සහ ISO 6976 වැනි ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීමට පරිවර්තනය වේ.
CMP හි පොහොර නිරීක්ෂණය පිළිබඳ පොදු ප්‍රශ්න
CMP සඳහා පොහොර ඝනත්වය මැනීම අත්‍යවශ්‍ය වන්නේ ඇයි?
පොහොර ඝනත්වය මැනීම මගින් රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ ක්‍රියාවලියේදී ඒකාකාර අංශු ව්‍යාප්තිය සහ මිශ්‍ර අනුකූලතාව සහතික කරයි, දෝෂ වැළැක්වීම සහ ඉවත් කිරීමේ අනුපාත ප්‍රශස්ත කරයි. එය උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් නිෂ්පාදනයට සහ කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීමට සහාය වේ.
දුස්ස්රාවීතා අධීක්ෂණය CMP කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
දුස්ස්රාවීතාවය නිරීක්ෂණය කිරීම මගින් ස්ථාවර පොහොර ප්‍රවාහයක් පවත්වා ගෙන යන අතර, පෑඩ් අවහිර වීම හෝ අසමාන ඔප දැමීම වැනි ගැටළු වළක්වයි. Lonnmeter හි ඉන්ලයින් සංවේදක CMP ක්‍රියාවලිය ප්‍රශස්ත කිරීමට සහ වේෆර් අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීමට තත්‍ය කාලීන දත්ත සපයයි.
ලොන්මීටරයේ න්‍යෂ්ටික නොවන බොර ඝනත්ව මීටර අද්විතීය වන්නේ කුමක් නිසාද?
ලෝන්මීටරයේ න්‍යෂ්ටික නොවන පොහොර ඝනත්ව මීටර මඟින් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් සහ ශුන්‍ය නඩත්තුවකින් යුතුව එකවර ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතා මිනුම් ලබා දේ. ඒවායේ ශක්තිමත් සැලසුම ඉල්ලුමක් ඇති CMP ක්‍රියාවලි පරිසරයන් තුළ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ ක්‍රියාවලිය ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා තත්‍ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය මැනීම සහ දුස්ස්රාවිතතා නිරීක්ෂණය ඉතා වැදගත් වේ. Lonnmeter හි න්‍යෂ්ටික නොවන පොහොර ඝනත්ව මීටර සහ දුස්ස්රාවීතා සංවේදක මඟින් අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදකයින්ට, CMP පරිභෝජන සැපයුම්කරුවන්ට සහ අර්ධ සන්නායක අත්තිවාරම් වලට පොහොර කළමනාකරණ අභියෝග ජය ගැනීමට, දෝෂ අඩු කිරීමට සහ පිරිවැය අඩු කිරීමට මෙවලම් සපයයි. නිරවද්‍ය, තත්‍ය කාලීන දත්ත ලබා දීමෙන්, මෙම විසඳුම් ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි, අනුකූලතාවය සහතික කරයි සහ තරඟකාරී CMP වෙළඳපොලේ ලාභදායීතාවය වැඩි කරයි. පිවිසෙන්න.ලොන්මීටර්ගේ වෙබ් අඩවියනැතහොත් Lonnmeter ඔබේ රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ මෙහෙයුම් පරිවර්තනය කරන්නේ කෙසේදැයි සොයා ගැනීමට අදම ඔවුන්ගේ කණ්ඩායම අමතන්න.
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-22-2025
